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Artículo

Experimental Research on Discharge Forming Cutting-Electrochemical Machining of Single-Crystal SiliconInvestigación experimental sobre el corte por conformación por descarga y el mecanizado electroquímico de silicio monocristalino

Resumen

Durante el proceso de mecanizado por descarga elctrica de hilo (WEDM), se genera fcilmente un gran nmero de picaduras de descarga y una capa de refundicin en la superficie de la pieza de trabajo, lo que provoca una elevada rugosidad superficial. En este estudio se propone un mtodo de mecanizado electroqumico con corte por conformado por descarga para fabricar silicio monocristalino con el fin de resolver este problema. En el mismo equipo de procesamiento, el silicio monocristalino se corta primero utilizando el mtodo de corte por conformado de descarga. En segundo lugar, se utiliza la tecnologa de reaccin electroqumica andica para disolver las picaduras de descarga y la capa de refundicin en la superficie de silicio monocristalino. El mecanismo de mecanizado de este proceso, los elementos superficiales del silicio monocristalino procesado y una comparacin de la anchura de corte se analizan mediante experimentos. Sobre esta base, se analiza cualitativamente la influencia de la velocidad de movimiento del electrodo de lmina de cobre durante la disolucin andica electroqumica en la rugosidad superficial final. Los resultados experimentales muestran que el mecanizado electroqumico de corte por conformacin por descarga puede eliminar eficazmente las picaduras de descarga elctrica y la capa de refundicin, causadas por el corte por descarga elctrica, en la superficie del silicio monocristalino, reduciendo as la rugosidad superficial de la pieza.

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