Resumen

Con la mejora del rendimiento en la ingeniería de fabricación de ultra precisión, los requisitos para el aislamiento de vibraciones se han vuelto más estrictos. Para obtener un ancho de banda efectivo más amplio y un mayor rendimiento de un sistema de aislamiento de vibraciones activo multi-DOFs (AVIS), se aplica en este documento la tecnología de control híbrido activo (AHC). La tecnología AHC comprende una tecnología de control activo de retroalimentación (FBAC) y una tecnología de control activo de avance (FFAC). Se emplea la retroalimentación de velocidad absoluta para establecer una tecnología de amortiguación sky-hook en la tecnología FBAC. Se adopta la alimentación de velocidad de avance de la plataforma base para construir una tecnología de compensación de fase lead-lag (LLPC) en la tecnología FFAC. Además, se menciona una conversión de vector de coordenadas de nivel unitario a nivel de sistema para describir la característica dinámica del AVIS de seis DOFs aplicado en el campo de ultra precisión. Y con la

• Materias:Control de vibraciones Correlación de Vibraciones Sistema de amortiguación Aceleración vibratoria Detección de fallas
• Subjects:Vibration control Vibration Correlation Damping System Vibration Acceleration Fault Detection
• Palabras claves:Ingeniería de fabricación de ultra precisión; Aislamiento de vibraciones; Sistema de aislamiento de vibraciones activo de múltiples grados de libertad; Tecnología de control activo híbrido; Tecnología de control activo de retroalimentación; Tecnología de control activo de avance
• Keywords:Ultra-precision manufacturing engineering; Vibration isolation; Multi-DOFs active vibration isolation system; Active hybrid control technology; Feedback active control technology; Feedforward active control technology