Resumen

Los defectos mixtos son cada vez más populares en la detección de defectos y una de las áreas de investigación más candentes en los mapas de obleas. Los métodos de postprocesado utilizados para resolver el problema de solapamiento en los defectos mixtos masivos tienen una velocidad de detección deficiente, lo que resulta insuficiente para la detección rápida de defectos. En este artículo, se propone el método de supresión no máxima rápida y suave (fs-NMS) para resolver este problema. La puntuación de la casilla de detección se actualiza optimizando la función de distribución de penalizaciones. Además, se analiza el rendimiento del método fs-NMS en la detección de defectos en obleas. Como penalización, se utiliza la función logística, y se realizan experimentos utilizando detectores de una y dos etapas. Los resultados finales muestran que, en comparación con el soft-NMS, la eficacia de los detectores de una y dos etapas aumenta una media del 9,63 y 21,72%, respectivamente.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:detectores por etapas, áreas de investigación más candentes, defectos mixtos en masa, función de distribución de penalización, escasa velocidad de detección, detección rápida de defectos, supresión suave no máxima, detección de defectos en obleas, nms, papel
• Keywords:stage detectors, hottest research areas, mass mixed defects, penalty distribution function, poor detection speed, rapid defect detection, soft nonmaximum suppression, wafer defect detection, nms, paper