Resumen

En el movimiento de exploración de nanoestructuras, la repetición de posición y movimiento ocurre con frecuencia y la tolerancia al error de posición es estricta. La consistencia entre el eje de los manipuladores y la imagen es muy significativa, ya que el servomecanismo visual es la herramienta más importante en la manipulación automatizada. En este artículo se propuso un método automatizado de alineación de ejes para un nanomanipulador dentro del SEM mediante el reconocimiento de la posición de un control en bucle cerrado del extremo efectivo, que puede caracterizar la relación de estos dos ejes, y luego se puede calcular la matriz de rotación en consecuencia. El error de este método y su función de transferencia también se calculan para comparar el método de iteración y el método promedio. El método en este artículo puede acelerar el proceso de alineación de ejes para evitar el efecto de deposición inducido por haz de electrones en las puntas finales. La demostración experimental muestra que se puede lograr una precisión de 0.1 grados en 90 segundos.

• Materias:Electrodos Nanocompuestos Nanomanipulación
• Subjects:Electrodes Nanocomposites Nanomanipulation
• Palabras claves:Movimiento; Nanoestructuras; Posición; Alineación de ejes; Nanomanipulador; SEM
• Keywords:Motion; Nanostructures; Position; Axis alignment; Nanomanipulator; SEM