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Precise Alignment of Individual Single-Walled Carbon Nanotube Using Dielectrophoresis Method for Development and Fabrication of pH SensorAlineación precisa de nanotubos de carbono de pared simple individuales mediante el método de dielectroforesis para el desarrollo y la fabricación de un sensor de pH

Resumen

Se ha desarrollado y fabricado un sensor de pH basado en nanotubos de carbono de pared simple (SWNT). Se llevó a cabo la alineación precisa de cada SWNT mediante el método de dielectroforesis entre los dos electrodos de microgap y se estudiaron los efectos de la alineación precisa de cada SWNT en la impedancia, la estabilidad a largo plazo y la capacitancia del sensor. El sensor de pH se fabricó mediante fotolitografía convencional y un proceso de grabado húmedo. Se observó que los valores de impedancia disminuían en el orden de agua destilada > pH 10 > pH 5 > pH 3 > aire. Sin la alineación de SWNT, los valores de capacitancia disminuyeron con el aumento de los valores de pH a baja frecuencia. Todos los resultados de impedancia y capacitancia fueron altamente repetibles.

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