Resumen

Presento un análisis detallado de las señales de temporización observadas al medir la oscilación de un escáner de Lissajous enviando un rayo láser reflejado sobre diodos de disparo cuidadosamente colocados. Esta técnica se utilizó en un dispositivo que hemos desarrollado recientemente para la medición de espejos de escáner MEMS resonantes. En el caso de los espejos de escáner 2D, se observan interferencias cruzadas entre los dos ejes. Esta interferencia puede comprenderse bien desde el punto de vista teórico. En este artículo se presenta una descripción analítica cuantitativa, confirmada por resultados experimentales.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:espejos resonantes de escáner mems, espejos de escáner 2d, descripción analítica cuantitativa, escáner lissajous, diafonía, análisis detallado, resultados experimentales, rayo láser, señales de temporización, diodos de disparo
• Keywords:resonant mems scanner mirrors, 2d scanner mirrors, quantitative analytical description, lissajous scanner, cross talk, detailed analysis, experimental results, laser beam, timing signals, trigger diodes