Resumen

Se investiga el comportamiento dinámico de un resonador basado en un sistema microelectromecánico (MEMS) de doble capa (microhaces) acoplado en paralelo y eléctricamente. Se utilizaron dos métodos numéricos para resolver el problema dinámico: el modelado de orden reducido (ROM) y el método de perturbación. El ROM se derivó utilizando la denominada expansión de Galerkin, considerando como funciones base las formas modales lineales no amortiguadas de la viga recta. El método de perturbación se generó utilizando el método de escalas múltiples por ataque directo de las ecuaciones de movimiento. Se realizaron análisis dinámicos, asumiendo los dos métodos numéricos anteriores, y la comparación de los resultados mostró una buena concordancia. Por último, se realizó un estudio paramétrico utilizando la perturbación en diferentes parámetros y los resultados revelaron diferentes características interesantes, que esperemos puedan ser útiles para algunas aplicaciones basadas en MEMS.

• Materias:Álgebra Análisis Matemático Ingeniería Matemática aplicada Lógica matemática
• Subjects:Algebra Mathematical Analysis Engineering Applied Mathematics Mathematical logic
• Palabras claves:Comportamiento dinámico; sistema microelectromecánico; MEMS; resonador; modelado de orden reducido; método de perturbación.
• Keywords:Dynamic behavior; microelectromechanical system; MEMS; resonator; reduced-order modeling; perturbation method