Resumen

En este artículo se describe el diseño de un giroscopio capacitivo MEMS triaxial de estructura única capaz de medir las tres velocidades angulares en un solo accionamiento. Se ha aplicado una viga en forma de Z para el soporte del muelle de acoplamiento plegado con el fin de suprimir el modo no deseado y disminuir el efecto de tensión en los extremos del muelle. El muelle de acoplamiento único ha modificado el movimiento de accionamiento, debido a lo cual se ha reducido la amortiguación de la película deslizante en el modo de accionamiento. Esta reducción puede conducir a un mayor rendimiento del sensor con menos requisitos en el nivel de vacío, lo que disminuye el coste de fabricación. Se han realizado análisis de simulación en COMSOL Multiphysics y Matlab Simulink para finalizar el diseño para la fabricación. Tras el análisis de elementos finitos, los valores de conducción, x -sensing, z -sensing e y -sensing son, respectivamente, 13,30 KHz, 13,40 KHz, 13,47 KHz y 13,51 KHz.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:khz, giroscopio capacitivo mems, análisis de elementos finitos, muelle de acoplamiento plegado, muelle de acoplamiento único, fabricación, comsol multiphysics, matlab simulink, análisis de simulación, velocidades angulares
• Keywords:khz, mems capacitive gyroscope, finite element analysis, folded coupling spring, unique coupling spring, fabrication, comsol multiphysics, matlab simulink, simulation analysis, angular velocities