Resumen

Para cumplir con varios requisitos de aplicación, es importante permitir una mejora de la estructura y propiedades de a-C, como la dureza, la adherencia y la resistencia al desgaste. En este estudio, utilizamos la espectroscopía Raman para investigar la dependencia de la estructura de las películas delgadas de a-C en diferentes parámetros de deposición. Se analizó el efecto de la tasa de flujo de gas de nitrógeno, argón e hidrógeno para determinar la influencia en las propiedades de la película. El cambio en el tipo de gas, combinación y flujo tuvo una influencia significativa en las bandas D y G de los espectros Raman de a-C. La adición de N en la cámara promovió la creación de sp, mientras que al agregar hidrógeno, la capa contenía más enlaces sp. Las deposiciones de películas delgadas de a-C se llevaron a cabo en una instalación de vacío de descarga de arco pulsado. Se realizaron mediciones de micro-Raman de los materiales depositados utilizando un sistema confocal ISA Dilor-Jobin Yvon-Spex Labram con radiación de 632.8 nm de un láser de He-Ne utilizando una geometría de retrodispersión.

• Materias:Ionización Espectrofotometría Fluidos de perforación Análisis fluorimétrico Farmacocinética metabolómica
• Subjects:Ionization Spectrophotometry Drilling fluids Fluorimetric analysis Metabolomic pharmacokinetics
• Palabras claves:Diversos requisitos de aplicación; Estructura a-C; Propiedades; Dureza; Adherencia; Resistencia al desgaste; Espectroscopia Raman; Películas finas a-C; Parámetros de deposición; Nitrógeno; Argón; Caudal de gas hidrógeno; Propiedades de la película; Tipo de gas; Combinación; Caudal; Bandas D y G; Creación de sp; Enlaces sp; Instalación de vacío de descarga de arco pulsado; Mediciones Micro-Raman; Sistema confocal ISA Dilor-Jobin Yvon-Spex Labram; Radiación 632,8nm; Láser He-Ne; Geometría de retrodispersión.
• Keywords:Various application requirements; A-C structure; Properties; Hardness; Adhesion; Wear resistance; Raman spectroscopy; A-C thin films; Deposition parameters; Nitrogen; Argon; Hydrogen gas flow rate; Film properties; Gas type; Combination; Flow; D and G bands; Sp creation; Sp bonds; Pulsed arc discharge vacuum installation; Micro-Raman measurements; ISA Dilor-Jobin Yvon-Spex Labram confocal system; 632.8nm radiation; He-Ne laser; Back-scattering geometry