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Analysis and Control on a Specific Electromagnetic MicromirrorAnálisis y Control de un Microparabrisas Electromagnético Específico

Resumen

En este documento, se dividieron 10 modos resonantes basados en la estructura de un micromirror electromagnético bidimensional específico del equipo del Profesor Shen y el Método de Elementos Finitos (FEM), y el uso de hasta 10 modos resonantes para realizar dicho análisis fue la primera vez según nuestro mejor conocimiento. Los resultados mostraron que el eje lento puede participar en varios movimientos resonantes bajo las señales de frecuencias resonantes. En particular, la participación en el Modo 1 para el eje de escaneo lento fue la razón clave de la inestabilidad del Escaneo de Refresco Vertical (VRS) en el escaneo raster. Además, se propuso un control PID por partes basado en el diseño de filtros para este micromirror electromagnético con el fin de suprimir la oscilación resonante inesperada y mejorar la precisión del posicionamiento angular en el control del eje de escaneo lento. Finalmente, el método propuesto se aplicó a etapas de micromirror electromagnético, y los resultados experimentales mostraron que el enfoque propuesto

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