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Integrated MEMS/NEMS Resonant Cantilevers for Ultrasensitive Biological DetectionCantilevers resonantes MEMS/NEMS integrados para la detección biológica ultrasensible

Resumen

Este artículo repasa las recientes investigaciones llevadas a cabo en la Academia China de las Ciencias, con logros en sensores integrados de microcantilever resonante. En los voladizos resonantes, los elementos de autodetección y los elementos excitadores de resonancia se integran de arriba abajo con técnicas de micromecanizado de silicio. Se han dedicado muchos esfuerzos a optimizar el modo de resonancia y la estructura de detección para mejorar la sensibilidad. Por otra parte, para que los microcantilevers sean específicamente sensibles a las moléculas bioquímicas, se desarrollan materiales sensores que se modifican en la superficie del cantilever mediante una construcción ascendente basada en una monocapa autoensamblada (SAM) y la funcionalización de la superficie. Para mejorar la selectividad de los sensores y reducir el ruido ambiental, se desarrollan modificaciones superficiales múltiples y localizadas. La capacidad de producción en volumen alcanzada y la satisfactoria resolución de detección del antígeno biológico a nivel de trazas de la alfa-fetoproteína (AFP) confieren a los sensores de microcantilever una gran promesa para la detección rápida y de alta resolución.

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