Resumen

El presente documento evalúa la capacitancia de acoplamiento estática y motional de un resonador de sistema microelectromecánico de modo flexural basado en carburo de silicio. La capacitancia de acoplamiento estática fue medida por un analizador de redes bajo presión atmosférica. La capacitancia de acoplamiento motional se obtuvo introduciendo varios valores en el circuito de modelado para ajustar las gráficas de Bode medidas bajo presión reducida. La capacitancia de acoplamiento estática fue de 0.02pF, mientras que la capacitancia de acoplamiento motional de un dispositivo idéntico fue de aproximadamente 0.2pF, lo cual es un orden de magnitud mayor que la capacitancia de acoplamiento estática.

• Materias:Circuitos de inductancia Circuitos de oscilador Circuito híbrido Voltaje Universal Sensor termoeléctrico
• Subjects:Inductance circuits Oscillator circuits Hybrid circuit Universal Voltage Thermoelectric sensor
• Palabras claves:Papel; Estático; En movimiento; Paso de alimentación; Capacitancia; Basado en carburo de silicio
• Keywords:Paper; Static; Motional; Feedthrough; Capacitance; Silicon carbide-based