Se depositaron láminas delgadas de dióxido de cerio (CeO2 ) con distintas concentraciones de Ce (0,1 a 0,9 M, base metálica) sobre sustratos de vidrio de cal-sosa-sílice mediante recubrimiento por rotación. Se observó que todas las películas presentaban la estructura cúbica de fluorita tras el recocido a 500°C durante 5 h. Los análisis de microespectroscopía Raman láser y GAXRD revelaron que el aumento de las concentraciones de Ce producía un incremento del grado de cristalinidad. Las imágenes FIB y FESEM confirmaron los resultados de los análisis Raman láser y GAXRD debido al aumento previsto del espesor de la película con el aumento de la concentración de Ce. Sin embargo, la porosidad y el agrietamiento por contracción (secado) de las películas también aumentaron significativamente con el incremento de las concentraciones de Ce. Los datos de espectrofotometría UV-VIS mostraron que la transmisión de las películas disminuía con el aumento de las concentraciones de Ce debido a la creciente formación de grietas. Además, se observó un desplazamiento al rojo con el aumento de las concentraciones de Ce, lo que dio lugar a una disminución de la brecha de banda óptica indirecta.
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