Resumen

Se presentan las características eléctricas de una película delgada de óxido de zinc (ZnO) dopada con aluminio (Al) para sensores de humedad de alta sensibilidad. Se investigaron los efectos de la concentración de dopaje de Al al 0~0,6% en las propiedades de la película delgada de ZnO dopada con Al mediante la medición de la corriente y el voltaje. Las propiedades ópticas y estructurales se caracterizaron mediante fotoluminiscencia (PL), microscopio de emisión de barrido (SEM) y difracción de rayos X (XRD). El parámetro 0,6 en dopado con aluminio muestran una alta sensibilidad y son adecuados para el sensor de humedad. El PL muestra una banda de emisión con dos picos centrados en unos 380 nm (ultravioleta (UV)) y 600 nm (verde) a temperatura ambiente. La longitud de los nanorods aumenta al aumentar la concentración de dopaje. Los resultados de la DRX muestran que la intensidad del pico (002) disminuye con el aumento de la concentración de dopaje.

• Materias:Aluminio Materiales Soldadura Metales Soldadura de acero Hidróxido de aluminio Zinc (Zn) Zinc
• Subjects:Aluminum Materials Welding Metals Steel - Welding Aluminum hydroxide Zinc (Zn) Zinc
• Palabras claves:efectos del al, microscopio de barrido de emisiones, sensibilidad sensor de humedad, propiedad de la película fina, película fina de zno, características del aluminio, características eléctricas, aumento de la concentración, difracción de rayos, concentración
• Keywords:effects of al, scanning emissions microscope, sensitivity humidity sensor, thin film property, zno thin film, characteristics of aluminum, electrical characteristics, concentration increase, ray diffraction, concentration