Resumen

Las nanopartículas de SiO2 en el proceso PCVD se investigaron mediante SEM, TEM y espectros de emisión óptica (OES). En el proceso PCVD hay partículas de SiO2 esféricas grandes con un diámetro de 50-200 nm y más partículas pequeñas de unos 10-50 nm. El tamaño de las partículas de SiO2 está influido por la distancia y la velocidad de alimentación, pero no por la temperatura del electrón. La cantidad de partículas esféricas grandes de SiO2 disminuye con el aumento de la distancia y la disminución de la velocidad de alimentación debido a la menor concentración. Además, la evolución de las partículas de SiO2 se dedujo de los resultados experimentales.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanocomposites
• Palabras claves:partículas, proceso pcvd, velocidad de alimentación, espectros de emisión óptica, distancia, temperatura de electrones, resultados experimentales, menor concentración, partículas pequeñas, 50-200
• Keywords:particles, pcvd process, feeding speed, optical emission spectra, distance, electron temperature, experimental results, lower concentration, small particles, 50–200