Resumen

Las nanopelículas de polisilicio (PSNF) pueden proporcionar un gran factor de calibre y una buena estabilidad térmica, lo que favorece su aplicación en dispositivos sensores piezoresistivos. El recorte eléctrico es necesario para mejorar aún más la estabilidad y la adaptación de las resistencias piezoresistivas tras la fabricación del sensor. Las ventajas del PSNF se obtienen preparando primero muestras de PSNF con diferentes concentraciones de dopaje y temperaturas de deposición. Aplicando una corriente continua incremental superior a la corriente umbral de las resistencias PSNF, se recortan las resistencias PSNF y se miden los cambios de resistencia. Los resultados del recorte eléctrico muestran que la corriente umbral, la velocidad de recorte y el error de recorte están relacionados con la concentración de dopaje y la temperatura de deposición. Los resultados experimentales se exponen de acuerdo con la teoría piezoresistiva de efecto túnel y el modelo de par intersticial-vacante. Estos resultados son útiles para el diseño y fabricación de sensores piezoresistivos de PSNF.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanocomposites
• Palabras claves:psnf, resistencias psnf, diferentes concentraciones de dopaje, espectáculo de recorte eléctrico, buena estabilidad a la temperatura, corriente continua incremental, gran factor de calibre, modelo de par de vacantes, resultados, recorte eléctrico
• Keywords:psnf, psnf resistors, different doping concentrations, electrical trimming show, good temperature stability, incremental dc current, large gauge factor, vacancy pair model, results, electrical trimming