Combinando los estudios espectrales infrarrojos de reflexión-absorción con el análisis de ajuste de picos hemos determinado el tipo de los óxidos de silicio presentes en las capas de polidimetilsiloxano obtenidas sobre sustratos de germanio y aluminio en descargas corona. También hemos evidenciado que la dependencia de la densidad de óxidos de silicio con la intensidad de corriente de descarga corona está relacionada con la existencia de un proceso de anodización concurrente que tiene lugar en la interfase polímero/sustrato de Al. La morfología de la superficie del sustrato de Al investigada mediante microscopía electrónica de barrido demostró que se produce el proceso de anodización.
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