Resumen

El método del voladizo de referencia se muestra como un método directo y sencillo para la determinación de la constante de resorte torsional. Se ha aplicado a la caracterización de estructuras de micropalancas similares a las propuestas para sensores químicos funcionalizados resonantes y detectores térmicos resonantes. Se demuestra que este método puede utilizarse como un procedimiento eficaz para caracterizar un parámetro clave de estos dispositivos y sería aplicable a la caracterización de otros dispositivos MEMS/NEMS similares, como los microespejos. En este estudio, se fabrican dos conjuntos de micropalancas (vigas en el centro y desplazadas 2,5 μm) utilizando nitruro de silicio LPCVD como sustrato. El patronaje se realiza mediante fresado directo utilizando haz de iones focalizado. La constante de resorte de torsión se obtiene mediante análisis micromecánico a través de microscopía de fuerza atómica. Para obtener la curva de gradiente de fuerza, se escanea el área de la micropaleta y se investiga el comportamiento de cada píxel mediante un código desarrollado automáticamente. Los resultados experimentales concuerdan con los teóricos.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:constante de resorte de torsión, nitruro de silicio lpcvd, microscopía de fuerza atómica, haz de iones focalizado, método del voladizo de referencia, detectores térmicos resonantes, caracterización, dispositivos nems, sensores químicos, fresado directo
• Keywords:torsional spring constant, lpcvd silicon nitride, atomic force microscopy, focused ion beam, reference cantilever method, resonant thermal detectors, characterization, nems devices, chemical sensors, direct milling