Resumen

Resumimos las tendencias actuales en el análisis de las propiedades físicas (densidad de masa superficial, viscosidad, elasticidad, fricción y carga) de diversas películas finas medidas con un sensor de estado sólido que oscila en un entorno gaseoso o líquido. Abarcamos tres tipos diferentes de sensores que oscilan mecánicamente: la microbalanza de cristal de cuarzo con disipación (QCM-D) de seguimiento, la onda acústica superficial (SAW), los resonadores y los sensores magnetoelásticos (MES). Se analiza brevemente la cuarta clase de nuevos sensores de masa de ondas acústicas (SAW), a saber, los resonadores acústicos de masa de película delgada (TFBAR) sobre membranas vibrantes. El artículo contiene un estudio de los resultados teóricos y las aplicaciones prácticas de los sensores, así como una amplia bibliografía.

• Materias:Redes de sensores Nanosensores Sensores electroquímicos Sensores de fibra óptica
• Subjects:Sensor networks Nanosensors Electrochemical sensors Fiber optic sensors
• Palabras claves:resonadores acústicos a granel, nueva onda acústica, microbalanza de cristal de cuarzo, diversas películas finas, sensores, superficie, onda acústica, bibliografía exhaustiva, tendencias actuales, diferentes tipos
• Keywords:bulk acoustic resonators, novel acoustic wave, quartz crystal microbalance, various thin films, sensors, surface, acoustic wave, comprehensive bibliography, current trends, different types