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Reaction Force Compensator for High-Speed Precision Stage of Laser Direct Imaging ProcessCompensador de Fuerza de Reacción para Escenario de Alta Velocidad y Precisión en el Proceso de Imágenes Directas con Láser.

Resumen

Recientemente, el proceso de impresión directa por láser (LDI) se ha vuelto popular como un sustituto de la litografía en la industria de fabricación de placas de circuito impreso flexibles (FPCB). Sin embargo, el movimiento repetido del equipo del proceso provoca vibraciones residuales en un estado transitorio cuando la etapa acelera o desacelera. La estructura de soporte para la cabeza láser es compleja y pesada para aumentar la frecuencia resonante, ya que las vibraciones residuales deben controlarse por debajo de un cierto nivel para la precisión del proceso LDI. Si las vibraciones no pueden ser rechazadas, el controlador necesita un tiempo de establecimiento más largo; por lo tanto, la productividad se reduce. En este estudio, se propone un compensador de fuerza de reacción (RFC) para el granito de una etapa de precisión en el equipo para minimizar las vibraciones perjudiciales y el error en estado estable. Primero, se mide el desplazamiento con un vibrómetro láser Doppler (LDV) para identificar las características

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