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Crystallization Behavior and Thermal Analysis of CoFeB Thin FilmsComportamiento de cristalización y análisis térmico de láminas delgadas de CoFeB

Resumen

Examinamos dos blancos que contenían Co40Fe40B20 y Co60Fe20B20. Depositamos películas finas monocapa de Co40Fe40B20 y Co60Fe20B20 de diversos grosores sobre sustratos de vidrio mediante pulverización catódica por magnetrón de corriente continua; los grosores oscilaban entre 25 y 200 Å. Las propiedades térmicas de las películas finas de Co40Fe40B20 y Co60Fe20B20 se determinaron mediante un calorímetro diferencial de barrido (DSC). Las propiedades térmicas incluían la temperatura de transición vítrea ( T g ), la temperatura de cristalización de inicio ( T x ) y la capacidad de formación de vidrio, que se determinaron en función de estos valores. El uso de la fórmula de Kissinger reveló que la energía de activación del Co60Fe20B20 con un espesor de 75 Å es la más alta, lo que implica que la cristalización era la más baja y que la película de Co60Fe20B20 mostraba propiedades anticristalización. Sin embargo, la energía de las películas delgadas de Co40Fe40B20 de 75 Å fue la más baja, lo que es opuesto a la de Co60Fe20B20. Esta observación puede explicarse razonablemente en función de la concentración de Co o Fe. Por lo tanto, un espesor de 75 Å es crítico.

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