Resumen

La desviación del sistema real de las condiciones ideales de soporte causada por errores de micromaquinado y defectos de fabricación o la necesidad de un diseño innovador y optimización de sistemas microelectromecánicos (MEMS) hacen que el límite no ideal en el sistema de micro-/nanorresonador reciba amplia atención. En este artículo, consideramos la tensión del plano neutro, el campo de borde y los factores del límite no ideal para establecer un modelo continuo de resonadores de microvigas impulsados electrostáticamente. Se calcula la solución estática convergente con descomposición de Galerkin de nueve órdenes. Luego, basándonos en la solución estática, se deriva una ecuación dinámica de 1 grado de libertad de hasta el quinto orden del desplazamiento dinámico utilizando una expansión de Taylor. Se utiliza el método de múltiples escalas para estudiar el efecto de los coeficientes de rigidez del resorte en las características de respuesta de frecuencia primaria y los fenómenos de conversión de endure

• Materias:Análisis estructural Ingeniería subterránea Capacidad de tráfico Descomposición del modo variacional Fallas para rodamientos
• Subjects:Structural analysis Underground engineering Traffic capacity Variational mode decomposition Failures for bearings
• Palabras claves:Desviación; Micromecanizado; Sistemas microelectromecánicos; Límite no ideal; Ecuación dinámica; Rigidez del resorte
• Keywords:Deviation; Micromachining; Microelectromechanical systems; Nonideal boundary; Dynamic equation; Spring stiffness