Resumen

La precisión de los parámetros físicos de un condensador MEMS sintonizable, como parte principal de la referencia de tensión de CA MEMS, es de gran importancia para conseguir una tensión de salida precisa libre de ruidos y perturbaciones. Aunque se hacen grandes esfuerzos para fabricar condensadores MEMS sintonizables con las características físicas precisas deseadas y mejorar la exactitud de los valores de los parámetros físicos, las incertidumbres paramétricas surgen inevitablemente en el proceso de fabricación atribuibles a las imperfecciones en el proceso de micromecanizado. En primer lugar, este artículo considera la aplicación de un diseño de controlador adaptativo de modo deslizante en la fuente de referencia de voltaje de CA MEMS para que sea capaz de emitir un voltaje de salida bien regulado desafiando las incertidumbres paramétricas en la dinámica de la planta y también agravando las perturbaciones externas impuestas al sistema. En segundo lugar, se realiza una investigación comparativa entre el controlador adaptativo de referencia de modelo diseñado y el controlador de realimentación de estado de posicionamiento de polos. El controlador adaptativo de modo deslizante sintonizado no sólo muestra una notable robustez frente a la variación lenta de los parámetros y las perturbaciones externas en comparación con el controlador de retroalimentación de estado por posicionamiento de polos, sino que también es inmensamente robusto frente a las perturbaciones externas en comparación con el controlador adaptativo convencional. Los resultados de la simulación son prometedores.

• Materias:Control del proceso Aerodinámica Diagnóstico de fallas Regulación automática Instrumentación automática
• Subjects: Aerodynamics Fault diagnosis Automatic regulation Automatic instrumentation
• Palabras claves:retroalimentación del estado de colocación, perturbación externa, incertidumbres paramétricas, parámetros físicos, referencia de tensión de c.a. mems, fuente de referencia de tensión de c.a. mems, características físicas precisas deseadas, condensadores sintonizables mems, tensión de salida precisa, controlador adaptativo convencional
• Keywords:placement state feedback, external disturbance, parametric uncertainties, physical parameters, mems ac voltage reference, mems ac voltage reference source, desiderated accurate physical characteristics, mems tunable capacitors, accurate output voltage, conventional adaptive controller