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Gold-Catalyzed Growth of Aluminium-Doped Zinc Oxide Nanorods by Sputtering MethodCrecimiento catalizado por oro de nanorods de óxido de zinc dopados con aluminio mediante el método de sputtering

Resumen

Se cultivaron nanorods de óxido de zinc dopado con aluminio (AZO) mediante pulverización catódica por magnetrón de RF sobre un catalizador metálico de oro (Au). Las capas de catalizador de Au de 5, 10 y 15 nm de grosor se depositaron sobre sustratos de vidrio mediante el método de sputtering seguido de un recocido de 15 min a 500°C para formar nanoestructuras de Au sobre el sustrato de vidrio. A continuación, las películas finas de AZO se depositaron sobre el catalizador de Au a diferentes temperaturas de deposición que variaban entre 200 y 500°C. Los procesos de recocido posteriores a la deposición del catalizador de Au dieron lugar a diferentes morfologías de las capas de catalizador de Au en función de sus espesores. Esto, a su vez, dio lugar a diferentes morfologías AZO que sugieren que el espesor de la capa de catalizador de Au y la temperatura de deposición contribuyen al mecanismo de crecimiento de las nanoestructuras AZO. Se obtuvieron películas delgadas de nanorods AZO con estructura hexagonal wurtzita con nanorods individuales en la superficie de la película a partir de las muestras depositadas sobre catalizador de Au de 5 y 10 nm de espesor con la temperatura de deposición de 300°C.

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