Resumen

Hemos sintetizado nanotubos de carbono (CNT) rellenos de Pd orientados perpendicularmente a sustratos de Si utilizando una deposición química en fase vapor mejorada por plasma de microondas (MPECVD) para la aplicación de la punta de microscopía de sonda de barrido (SPM). Antes del crecimiento por CVD, se recubrió el sustrato con una fina película de Al (10 nm) como capa amortiguadora y, a continuación, se depositó una película de Pd de 5∼40 nm de espesor como catalizador. El diámetro y la densidad de área de los CNT cultivados dependen en gran medida del espesor inicial de Pd. Las imágenes de microscopía electrónica de barrido (SEM) y de transmisión (TEM) muestran claramente que el Pd se encapsula con éxito en los CNT, lo que probablemente conduce a una mayor conductividad. Utilizando condiciones óptimas de crecimiento, los CNT rellenos de Pd crecen con éxito en el vértice del voladizo SPM convencional.

• Materias:Análisis electroquímico Nanopartículas Nanoestructuras Nanocompuestos Sistema de nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Electrochemical analysis Nanoparticles Nanostructures Nanocomposites Nanoparticle system Nanotubes
• Palabras claves:cnts, deposición química de vapor, voladizo spm convencional, espesor inicial de pd, condiciones óptimas de crecimiento, película gruesa de pd, microscopía electrónica de transmisión, crecimiento cvd, sustratos si, densidad areal
• Keywords:cnts, chemical vapor deposition, conventional spm cantilever, initial pd thickness, optimum growth conditions, thick pd film, transmission electron microscopy, cvd growth, si substrates, areal density