Resumen

Presentamos unos fotodiodos uni-traveling-carrier modificados con compensación de carga (MUTC-PDs) con alta fotocorriente y rápida respuesta, crecidos utilizando precursores líquidos del grupo-V, en un sistema AIXTRON MOCVD. Los precursores líquidos del grupo V presentan menos toxicidad y mejores características de descomposición. La fabricación del dispositivo se completa con técnicas de procesado estándar con pasivación BCB. Se realizan mediciones de CC y RF utilizando una fibra monomodo a 1,55 μm. Para un dispositivo de 24 μm de diámetro (con factor de idealidad de diodo de 1,34), la corriente oscura es de 32,5 nA y el ancho de banda de 3 dB es ≫20 GHz a una polarización inversa de 5 V, valores comparables a los teóricos. Se obtiene una elevada fotocorriente de más de 150,0 mA a partir de dispositivos de mayor diámetro (>60 μm). La máxima capacidad de respuesta de CC a una longitud de onda de 1,55 μm es de 0,51 A/W, sin recubrimiento antirreflectante. Estos fotodiodos desempeñan un papel clave en el progreso de los futuros sistemas de comunicación THz.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:grupo líquido, futuros sistemas de comunicación thz, sistema aixtron mocvd, mejores características de descomposición, factor de idealidad del diodo, máxima responsividad dc, fibra monomodo, técnicas de procesado estándar, pasivación bcb, fabricación de dispositivos
• Keywords:liquid group, future thz communication systems, aixtron mocvd system, better decomposition characteristics, diode ideality factor, maximum dc responsivity, single mode fiber, standard processing techniques, bcb passivation, device fabrication