Resumen

Se aplicaron películas delgadas de dióxido de titanio (TiO2) como membrana de detección de un sensor de pH de transistor de efecto de campo de compuerta extendida (EGFET). Las películas delgadas de TiO2 se depositaron por el método de recubrimiento por rotación y se investigó la influencia de la velocidad y la duración de la rotación en el comportamiento de detección del pH de las películas delgadas de TiO2. Las películas delgadas de TiO2 recubiertas por espín se conectaron a un transistor de efecto de campo semiconductor de óxido metálico (MOSFET) comercial para formar las puertas extendidas y el MOSFET se integró en un circuito de interfaz de lectura para completar el sistema sensor de pH EGFET. Para la investigación de los parámetros de velocidad de centrifugado, la sensibilidad más alta se obtuvo para la muestra centrifugada a 3000 rpm a un tiempo de centrifugado fijo de 60 s, que fue de 60,3 mV/pH. La sensibilidad mejoró aún más hasta alcanzar 68 mV/pH con una buena linealidad de 0,9943 cuando el tiempo de centrifugado fue de 75 s a la velocidad de 3000 rpm.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:películas finas, tio2, transistor de efecto, sistema sensor de ph egfet, investigación de parámetros de velocidad de giro, tiempo fijo de giro, método de recubrimiento por giro, mosfet, rpm, dióxido de titanio
• Keywords:thin films, tio2, effect transistor, egfet ph sensor system, spin speed parameter investigation, fixed spinning time, spin coating method, mosfet, rpm, titanium dioxide