Resumen

En este estudio se depositaron películas de óxido de indio y molibdeno (IMO) sobre sustratos de polietersulfona (PES) mediante evaporación asistida por haz de iones (IBAE) a baja temperatura. Se investigaron los efectos del espesor de la película sobre sus propiedades ópticas y eléctricas. Los resultados muestran que las películas de OMI depositadas presentan una orientación preferente de B(222). La resistividad eléctrica de la película depositada se reduce inicialmente y posteriormente aumenta con el espesor de la película. La película IMO con la resistividad más baja de 7,61 × 10-4 ohm-cm se ha conseguido cuando el espesor de la película es de 120 nm. Presenta una rugosidad superficial satisfactoria Rpv de 8,75 nm y una transmitancia visible media del 78,7%.

• Materias:Biotecnología Nanopartículas Nanocompuestos Nanotubos Análisis espectroquímico
• Subjects:Biotechnology Nanoparticles Nanocomposites Nanotubes Spectrochemical analysis
• Palabras claves:espesor de la película, rugosidad superficial satisfactoria rpv, óxido de indio molibdeno, transmitancia media visible, película imo, películas imo, propiedades eléctricas, resistividad eléctrica, baja temperatura, resistividad más baja
• Keywords:film thickness, satisfactory surface roughness rpv, indium molybdenum oxide, average visible transmittance, imo film, imo films, electrical properties, electrical resistivity, low temperature, lowest resistivity