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Development of Removable Hollow Cathode Discharge Apparatus for Sputtering Solid MetalsDesarrollo de un aparato de descarga de cátodo hueco desmontable para la pulverización catódica de metales sólidos

Resumen

Se ha desarrollado una celda de descarga de cátodo hueco para una variedad de fases de muestra. Para hacer el aparato experimental compacto, hemos adoptado la descarga de CC, y la celda de descarga se construyó de manera económica para ser reemplazada con piezas de vacío disponibles comercialmente. El atributo más distintivo de la celda desarrollada es la estructura doble de los cátodos. La ocurrencia de la pulverización resultó en el átomo de metal en fase gaseosa. Con gas de protección de Ar, se investigaron las condiciones favorables de la espectroscopia de absorción láser para la muestra en fase gaseosa.

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