Resumen

Se investigó la eliminación de polímeros con diversas estructuras químicas y la eliminación de resistivos implantados con iones utilizando ozono húmedo. Los índices de eliminación de polímeros que tienen dobles enlaces carbono-carbono (C-C) en la cadena principal fueron elevados. La cadena principal de estos polímeros puede descomponerse. Los índices de eliminación de polímeros con dobles enlaces C-C en la cadena lateral fueron bajos. El anillo bencénico de la cadena lateral se transforma en ácido carboxílico, por lo que aumentó su capacidad de disolución en agua. Los polímeros sin dobles enlaces C-C no se eliminaron. La eliminación de las resistencias implantadas con iones B y P se hizo difícil con el aumento de la energía de aceleración de los iones en la implantación. La resistencia con una dureza de deformación plástica que era dos veces más dura que la de la resistencia no implantada debería eliminarse de forma similar a la resistencia no implantada. Utilizando TOF-SIMS, aclaramos que la molécula de la resina cresol novolak fue destruida y carbonizada por la implantación de iones.

• Materias:Propiedades fisicoquímicas Polimerización Ingeniería biomédica Nanoestructuras Sustancias macromoleculares
• Subjects:Chemicophysical properties Polymerization Biomedical engineering Nanostructures Macromolecular substances
• Palabras claves:polímeros, dobles enlaces, cadena principal, resistencia no implantada, tasas de eliminación, cambios en las cadenas laterales, diversas estructuras químicas, carbono, eliminación, ion p
• Keywords:polymers, double bonds, main chain, nonimplanted resist, removal rates, side chain changes, various chemical structures, carbon, removal, p ion