Resumen

Se presenta la fabricación y caracterización de sensores de hidrógeno de ondas acústicas superficiales (SAW) utilizando nanocompuestos de paladio-grafeno (Pd-Gr) como material sensor. El nanocompuesto de Pd-Gr como capa sensora se depositó sobre una estructura de electrodos interdigitados (IDTs)/nitruro de aluminio (AlN)/silicio (Si) basada en sensores de línea de retardo SAW. El nanocompuesto Pd-Gr se sintetizó por vía química y se depositó sobre los sensores SAW mediante pulverización con aerógrafo. El sensor SAW de H2 que utiliza nanocompuesto de Pd-Gr como capa sensora muestra un desplazamiento de frecuencia de 25 kHz en una concentración de H2 del 0,5% a temperatura ambiente con buena repetibilidad y estabilidad. Además, el sensor mostró una buena linealidad y una rápida respuesta/recuperación en diez segundos con diversas concentraciones de H2 del 0,25 al 1%. La interacción específica entre el grafeno y la transferencia SAW dentro de las estructuras AlN/Si produce una alta sensibilidad y una rápida respuesta/recuperación del sensor SAW de H2 basado en la estructura Pd-Gr/AlN/Si.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos Nanomateriales
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes Nanomaterials
• Palabras claves:sensor h2 de sierra, nanocompuesto de gr, respuesta rápida, sensor de línea de retardo de sierra, varias concentraciones de h2, aln, grafeno, capa, recuperación, concentración de h2
• Keywords:saw h2 sensor, gr nanocomposite, fast response, saw delay line sensor, various h2 concentrations, aln, graphene, layer, recovery, h2 concentration