Resumen

El dispositivo de detección basado en el mecanismo mecánico está lejos de la medición de la presión de explosión y compresión del cilindro del motor de combustión interna. Esta detección de la presión se realiza en un entorno de gas pulsado (más de 500 veces por minuto) y de vibración mecánica de impacto. La detección piezoresistiva con galgas extensométricas de silicio sobre aislante (SOI) a la presión parece ser una buena solución para satisfacer estas aplicaciones especiales. En este trabajo, se utilizó la oblea de separación por oxígeno implantado (SIMOX) para fabricar el chip sensor de presión de alta temperatura. Para una aplicación de alta precisión y amplio rango de temperatura, este trabajo también presenta un novedoso método de compensación del coeficiente de temperatura de la sensibilidad a la presión (TCS), utilizando una red de corriente constante integrada. Se introduce una fórmula de compensación cuantitativa en matemáticas. Durante los experimentos, el valor absoluto del TCS compensado es fácil que sea de 10 × 10-6/°C~100 × 10-6/°C mediante el ajuste y la calibración individual de la compensación de temperatura de cada dispositivo. Por lo tanto, se comprueba la viabilidad y factibilidad de esta tecnología. Una vez más, se discuten las desventajas tras la investigación de los datos del experimento y también se dan los métodos de mejora en el periodo de diseño. Esta tecnología muestra el gran valor práctico potencial de la presión del cilindro del motor de combustión interna con la fabricación de volumen.

• Materias:Corrosión del acero Aceites y grasas Polimeros Acero Acero inoxidable Descarga eléctrica microfluidos
• Subjects:Corrosion of steel Oils and fats Polymers Steel Stainless steel Electric shock microfluids
• Palabras claves:cilindro del motor de combustión, aplicación del rango de temperatura, coeficiente de temperatura de sensibilidad, presión de alta temperatura, chip sensor de presión, vibración mecánica de impacto, fórmula de compensación cuantitativa, red de corriente constante, valor práctico potencial, motor de combustión interna
• Keywords:combustion engine cylinder, temperature range application, sensitivity temperature coefficient, high temperature pressure, pressure sensor chip, mechanical impactive vibration, quantitative compensation formula, constant current network, potential practical value, internal combustion engine