Resumen

En este estudio se examinó la deposición de películas finas de CoFeB sobre un sustrato de vidrio a temperatura ambiente (TA), así como los efectos del posrecocido térmico TA=150°C durante 1 h. El espesor (tf) de las películas finas de CoFeB osciló entre 100 Å y 500 Å. También se investigaron la microestructura, el ángulo de contacto medio y las propiedades de energía superficial. La difracción de rayos X (DRX) reveló que las películas de CoFeB son nanocristalinas a RT y que el tratamiento posterior al recocido aumenta conjuntamente con la cristalinidad. La energía superficial de las películas finas de CoFeB está relacionada con la fuerza adhesiva. Las películas de CoFeB forman un ángulo de contacto superior a 90∘ con el agua como líquido de prueba. Este hallazgo demuestra que la película de CoFeB es hidrófoba. A medida que tf aumenta de 100 Å a 500 Å, la energía superficial a RT disminuye de 40 mJ/mm2 a 32 mJ/mm2. Durante el tratamiento posterior al recocido, la energía superficial aumenta de 32 mJ/mm2 a 35 mJ/mm2, a medida que tf aumenta de 100 Å a 300 Å; después disminuye a 31 mJ/mm2, a medida que tf aumenta de 300 Å a 500 Å. La energía superficial de las láminas finas de CoFeB as-depositadas supera a la que se produce durante el tratamiento posterior al recocido a espesores de 100 Å y 200 Å, lo que sugiere que la lámina fina de CoFeB as-depositada aumenta la adherencia.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanopartículas Nanocompuestos Nanocables
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanoparticles Nanocomposites Nanowires
• Palabras claves:películas delgadas, cofeb, mm2, energía superficial, películas de cofeb, tratamiento de recocido, ta=150°c, tratamiento de recocido aumenta, ángulo de contacto medio, energía superficial aumenta
• Keywords:thin films, cofeb, mm2, surface energy, cofeb films, annealing treatment, ta=150°c, annealing treatment increases, average contact angle, surface energy increases