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Uniformity Masks Design Method Based on the Shadow Matrix for Coating Materials with Different Condensation CharacteristicsMétodo de diseño de máscaras de uniformidad basado en la matriz de sombras para materiales de revestimiento con diferentes características de condensación.

Resumen

Se propone un método intuicionista para diseñar máscaras de sombra con el fin de lograr un control del perfil de grosor en procesos de recubrimiento por evaporación. El método propuesto se basa en el concepto de la matriz de sombra, que es una matriz que contiene coeficientes que establecen relaciones cuantitativas entre los parámetros de forma de las máscaras y las cantidades de sombra del sustrato directamente. Al usar la matriz de sombra, los parámetros de forma de las máscaras de sombra podrían ser derivados simplemente resolviendo una ecuación matricial. Se realizaron experimentos de verificación en un caso especial donde los materiales de recubrimiento tienen diferentes características de condensación. Al utilizar el par de máscaras diseñadas con formas complementarias, se demuestran uniformidades de grosor superiores al 98% para MgF () y LaF () simultáneamente en un sustrato esférico de 280 mm de diámetro con un radio de curvatura de 200 mm.

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