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La espectroscopia de infrarrojos por transformada de Fourier es un instrumento muy utilizado para analizar y probar distintos materiales, tanto orgánicos como inorgánicos. La mayoría de los espectrómetros de infrarrojos por transformada de Fourier comerciales actuales están limitados en cuanto a miniaturización y velocidad de barrido por sus componentes macroscópicos. La espectroscopia FTIR MEMS es una de las aplicaciones importantes de los sistemas accionados por actuadores traslacionales mediante el uso de la tecnología MEMS. El componente crítico en los MEMS FTIR es el microespejo de traslación de gran desplazamiento y su actuador. Este artículo presenta un microespejo de gran desplazamiento y alta calidad superficial. El microespejo consta de un actuador micromagnético y una placa de microespejo. La placa espejo y el actuador se fabrican por separado y se unen posteriormente, y su tamaño es de 3,6 × 3,6 mm2 de placa espejo cuadrada de alta calidad superficial y una parte móvil de 1cm2. La parte móvil del microactuador se fabrica utilizando MetalMUMPS, y su parte fija incluye un imán permanente de anillo y un solenoide para realizar un gran desplazamiento. La placa de espejo se fabrica utilizando silicio pulido recubierto con una capa de metal con prototipos de alta superficie que se fabrican y se prueban experimentalmente. Se ha conseguido una carrera máxima de 400 μm en pull-in mientras que sólo se han medido 140 μm de carrera para un desplazamiento controlado por 4 a 5 voltios de corriente continua, y la frecuencia de resonancia es de 10 Hz.
Esta es una versión de prueba de citación de documentos de la Biblioteca Virtual Pro. Puede contener errores. Lo invitamos a consultar los manuales de citación de las respectivas fuentes.
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