Resumen

Las rejillas periódicas 2D de sub-longitud de onda escalonada e inspiradas en las mariposas se desarrollaron principalmente utilizando el método de diferencias finitas en el dominio del tiempo (FDTD), con la ayuda del mecanizado o fabricación a nanoescala mediante haz de iones focalizado (FIB). Las estructuras periódicas de sub-longitud de onda a lo largo de las crestas de las rejillas diseñadas pueden cambiar la distribución de la intensidad del campo eléctrico y debilitar la reflexión superficial. Las prestaciones de las rejillas de SiO2 diseñadas son similares a las de las rejillas de Si correspondientes (la reflectancia prevista puede ser inferior a aproximadamente 5 o el ancho de banda oscila entre 0,15 μm y 1 μm). Además, el rendimiento antirreflectante de las rejillas sin espaciado x diseñadas es mejor que el de las rejillas con espaciado x correspondientes. Sobre la base de los diseños FDTD y los resultados simulados, la estructura de rejilla inspirada en la mariposa se fabricó en la oblea de silicio utilizando fresado FIB, informando de la posibilidad de fabricar estas estructuras de rejilla de sub-longitud de onda diseñadas por FDTD.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:rejillas, distribución de la intensidad del campo eléctrico, diferencias finitas en el dominio del tiempo, rejillas si correspondientes, haz de iones focalizado, estructuras periódicas de sub-longitud de onda, rejillas escalonadas de sub-longitud de onda, estructuras de rejilla de sub-longitud de onda, fdtd, mariposa
• Keywords:gratings, electric field intensity distribution, finite difference time domain, corresponding si gratings, focused ion beam, periodic subwavelength structures, staggered subwavelength gratings, subwavelength grating structures, fdtd, butterfly