Resumen

Este trabajo se centra en el diseño y la simulación de dispositivos rotacionales de sistemas microelectromecánicos (MEMS)/sistemas nanoelectromecánicos (NEMS), como el actuador rotativo micro/nanotérmico y el micro/nanogear. Las tecnologías MEMS/NEMS han permitido desarrollar dispositivos rotativos miniaturizados avanzados. El actuador térmico basado en MEMS/NEMS es una versión a escala de un dispositivo móvil que producirá un movimiento amplificado cuando se someta a fuerzas térmicas. Una de las aplicaciones de este micro/nanoactuador térmico es su integración en un micro/nanomotor que lo convierte en un micro/nanomotor accionado térmicamente. En este trabajo se realiza el diseño y simulación de un micro/nanoactuador rotativo térmico utilizando tecnología MEMS/NEMS. Se realizan análisis de tensión, densidad de corriente y temperatura para el actuador rotativo micro/nanotérmico. El rendimiento del dispositivo se observa variando las dimensiones y los materiales, como el silicio y el polisilicio. El análisis de tensiones se utiliza para calcular el límite elástico del material. La densidad de corriente se utiliza para calcular el límite de seguridad del material. El análisis de la temperatura se utiliza para calcular el punto de fusión del material. Además, en este trabajo se ha realizado el diseño y la simulación de microengranajes. Los micro/nanengranajes son dispositivos que se pueden utilizar para mejorar el rendimiento del movimiento. Lo esencial es que transmite el movimiento de rotación a un eje diferente.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanoestructuras Nanocompuestos Nanotubos
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanostructures Nanocomposites Nanotubes
• Palabras claves:actuador rotativo nanotérmico, diseño, material, micro, simulación, trabajo, dispositivos rotativos miniaturizados avanzados, actuador rotativo microtérmico, tal micro térmico, micro actuado térmico
• Keywords:nanothermal rotary actuator, design, material, micro, simulation, work, advanced miniaturized rotational devices, microthermal rotary actuator, such thermal micro, thermal actuated micro