Resumen

Presentamos sensores ópticos basados en guías de ondas de interferencia multimodo ranuradas. El sensor puede sintonizarse con la máxima sensibilidad en los rangos de índice de refracción necesarios para detectar moléculas basadas en proteínas u otros materiales químicos o biológicos solubles en agua. El material elegido es el oxinitruro de silicio (SiON) de bajas pérdidas, muy estable a la reactividad con agentes biológicos y productos químicos de procesamiento. Los sensores fabricados con esta tecnología son adecuados para la fabricación de grandes volúmenes.

• Materias:Redes de sensores Nanosensores Sensores electroquímicos Sensores de fibra óptica
• Subjects:Sensor networks Nanosensors Electrochemical sensors Fiber optic sensors
• Palabras claves:fabricación de gran volumen, oxinitruro de silicio con pérdidas, guías de ondas de interferencia multimodo, agentes biológicos, materiales biológicos, máxima sensibilidad, sensores ópticos, otras aguas, productos químicos de procesamiento, índice de refracción
• Keywords:high volume manufacturing, loss silicon oxynitride, multimode interference waveguides, biological agents, biological materials, highest sensitivity, optical sensors, other water, processing chemicals, refractive index