Resumen

Se diseña y fabrica un sensor de cantilever piezoeléctrico en forma de T con ZnO para detección química/biológica utilizando tecnología MEMS. Mediante el método de Rayleigh-Ritz, se deduce por primera vez la fórmula de la frecuencia resonante fundamental de los cantilevers en forma de T, la cual es validada por resultados de simulación y experimentales. A partir de esta fórmula, podemos encontrar fácilmente la superioridad de adoptar la forma en T para los cantilevers. Luego se desarrolla con éxito el proceso completo del sensor de cantilever. El sensor de cantilever es accionado por una capa de película de ZnO de alta calidad con orientación preferida (002), la cual es evaluada por SEM y XRD. El paso clave del proceso es proteger la película de ZnO del ataque con KOH mediante un método novedoso y efectivo, que rara vez se ha mencionado en la literatura. Finalmente, este sensor de cantilever es medido por un analizador de red, y tiene una frecuencia resonante fundamental de

• Materias:Transferencia de energía Ingeniería de apilamiento Circuito oscilador Modelo analítico Inductores
• Subjects:Energy transfer Stacking engineering Oscillator circuit Analytical model Inductors
• Palabras claves:Novela; Piezoeléctrico; Tecnología MEMS; En forma de T; Película de ZnO; Frecuencia de resonancia
• Keywords:Novel; Piezoelectric; MEMS technology; T-shaped; ZnO film; Resonant frequency