Resumen

Los dispositivos de ondas acústicas superficiales con películas finas piezoeléctricas de nitruro de aluminio (AlN) orientadas al eje c sobre sustratos poliméricos pueden utilizarse potencialmente para el desarrollo de sensores flexibles, aplicaciones microfluídicas flexibles, microsistemas y sistemas lab-on-chip. En este trabajo, las películas de AlN se han depositado con éxito sobre sustratos poliméricos utilizando el método de magnetrón-sputtering reactivo DC a temperatura ambiente, y los métodos XRD, SEM y AFM revelan que la baja presión de deposición es beneficiosa para la película de AlN altamente orientada al eje c sobre sustratos poliméricos. Se inician los estudios para el desarrollo de dispositivos flexibles de ondas acústicas superficiales basados en películas delgadas de AlN sobre sustratos poliméricos, y los resultados experimentales y simulados demuestran que los dispositivos presentan una velocidad de onda acústica de 9000-10000 m/s, lo que indica la onda de cordero de AlN.

• Materias:Automatización Control del proceso Sistemas no lineales Modelo lineal Regulación automática Diagnóstico de fallos
• Subjects:Automation Nonlinear systems Linear model Automatic regulation Fault diagnosis
• Palabras claves:sustratos poliméricos, dispositivo de ondas acústicas superficiales, onda de cordero aln, dispositivos de ondas acústicas, velocidad de ondas acústicas, aplicaciones microfluídicas flexibles, baja presión de deposición, películas finas piezoeléctricas, aln, eje
• Keywords:polymer substrates, surface acoustic wave device, aln lamb wave, acoustic wave devices, acoustic wave velocity, flexible microfluidic applications, low deposition pressure, piezoelectric thin films, aln, axis