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Artículo

Effect of Dopant Compensation on the Behavior of Dissolved Iron and Iron-Boron Related Complexes in SiliconEfecto de la Compensación del Dopante en el Comportamiento del Hierro Disuelto y los Complejos Relacionados con el Hierro-Borón en el Silicio

Resumen

Se ha estudiado el comportamiento del hierro, los pares hierro-boro (FeB) y los complejos hierro-boro-fósforo (FeB-P) en silicio Czochralski dopado con B con compensación de fósforo (P) y se ha comparado con el del material no compensado. Se ha medido la concentración intersticial de hierro a temperaturas comprendidas entre 50 y 270°C. La energía de enlace aparente (Eb) del FeB en el silicio compensado es de (0,25 ± 0,03) eV, significativamente menor que la de (0,53 ± 0,02) eV en el silicio no compensado. Se discuten las posibles razones de esta reducción de la energía de enlace mediante métodos experimentales y de cálculo. Los resultados son importantes para comprender y controlar el comportamiento del Fe en el silicio compensado.

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  • Idioma:Inglés
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Información del documento

  • Titulo:Effect of Dopant Compensation on the Behavior of Dissolved Iron and Iron-Boron Related Complexes in Silicon
  • Autor:Xiaodong, Zhu; Xuegong, Yu; Peng, Chen; Yong, Liu; Jan, Vanhellemont; Deren, Yang
  • Tipo:Artículo
  • Año:2015
  • Idioma:Inglés
  • Editor:Hindawi Publishing Corporation
  • Materias:Energía solar Fotoquímica Electrodos Nanoestructuras Biopelículas
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