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Artículo

Effect of Strain on Thermal Conductivity of Si Thin FilmsEfecto de la deformación en la conductividad térmica de láminas delgadas de Si

Resumen

Se emplean simulaciones de dinámica molecular sin equilibrio (NEMD) para comprender el efecto de la deformación en la conductividad térmica de las láminas delgadas de Si. El análisis muestra que la deformación tiene una influencia apreciable en la conductividad térmica de las láminas delgadas de Si. El análisis muestra que la deformación tiene una influencia apreciable en la conductividad térmica de las películas delgadas de Si. La conductividad térmica disminuye al aumentar la deformación por tracción y aumenta al aumentar la deformación por compresión. La disminución de las velocidades de los fonones y de las reconstrucciones superficiales generadas bajo deformación podría explicar bien los efectos de la deformación sobre la conductividad térmica de las películas delgadas de Si.

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