Resumen

Las bobinas de carbono pudieron sintetizarse utilizando C2H2/H2 como gases de origen y SF6 como gas aditivo incorporado en un sistema de deposición térmica química en fase vapor. Antes de la reacción de deposición de las bobinas de carbono, se depositó una capa de catalizador de níquel y se realizó un pretratamiento con plasma de hidrógeno. Para obtener las bobinas de carbono geométricamente controladas, se introdujo el proceso de modulación cíclica de encendido/apagado de los flujos de C2H2/SF6 durante la reacción inicial. De acuerdo con los diferentes procesos de reacción, se llevaron a cabo diferentes relaciones de activación/desactivación de los ciclos y diferentes números de ciclos para los flujos de C2H2/SF6. Se investigaron las características (densidad de formación, morfología y geometría) de las bobinas de carbono depositadas sobre el sustrato. En condiciones de mayor relación crecimiento/tiempo de grabado (180/30 s), se obtuvieron tanto microbobinas como nanobobinas. Por otro lado, la formación de bobinas de tamaño nanométrico se observó principalmente en condiciones de menor relación crecimiento/tiempo de grabado (30/180 s). A medida que aumentaba el número de ciclos, disminuían los diámetros de los nanofilamentos de carbono que componían las bobinas. La mayor capacidad de grabado de las especies de flúor se consideró la causa principal del control de la geometría de las espirales de carbono en función de la relación tiempo de crecimiento/grabado del proceso de modulación de activación/desactivación de ciclos para flujos de C2H2/SF6.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes
• Palabras claves:flujos de sf6, bobinas de carbono, relación de tiempo, c2h2, proceso de modulación, bobinas de tamaño nanométrico, deposición de capa catalizadora de níquel, reacción de deposición de bobinas de carbono, sistema de deposición térmica de vapor químico, diferentes números de ciclos
• Keywords:sf6 flows, carbon coils, time ratio, c2h2, modulation process, nanosized coils, nickel catalyst layer deposition, carbon coils deposition reaction, thermal chemical vapor deposition system, different cycling numbers