Resumen

Las películas delgadas termoeléctricas de antimonio-teluro (Sb2Te3) se prepararon sobre sustratos de SiO2/Si mediante el método de evaporación térmica. Para depositar las láminas delgadas de Sb2Te3 se utilizó una temperatura de sustrato que oscilaba entre la temperatura ambiente y los 150ºC. Se investigaron los efectos de la temperatura del sustrato sobre las microestructuras y las propiedades termoeléctricas de las películas delgadas de Sb2Te3. La estructura cristalina y la morfología superficial de las películas delgadas de Sb2Te3 se caracterizaron mediante análisis de difracción de rayos X y observación con microscopio electrónico de barrido de emisión de campo. Las películas delgadas de Sb2Te3 depositadas por RT mostraban la fase amorfa. Las fases Te y Sb2Te3 coexistieron en las películas delgadas de Sb2Te3 cuando la temperatura del sustrato fue superior a la temperatura ambiente. Los tamaños medios de grano de las películas delgadas de Sb2Te3 fueron de 39 nm, 45 nm, 62 nm, 84 nm y 108 nm, y las temperaturas del sustrato fueron de 50°C, 75°C, 100°C, 125°C y 150°C, respectivamente. Los coeficientes Seebeck, la conductividad eléctrica y el factor de potencia se midieron a temperatura ambiente y se observó que dependían en gran medida de la temperatura del sustrato.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:películas delgadas, sb2te3, temperatura del sustrato, temperatura ambiente, películas delgadas de sb2te3, tamaños medios de grano, observación al microscopio electrónico, análisis por difracción de rayos, método de evaporación térmica, películas delgadas termoeléctricas
• Keywords:thin films, sb2te3, substrate temperature, room temperature, sb2te3 thin films, average grain sizes, electron microscope observation, ray diffraction analyses, thermal evaporation method, thermoelectric thin films