Resumen

Se depositaron películas de carbono amorfo hidrogenado codopadas con Si y Al ((Si, Al)/a-C:H) mediante pulverización catódica por magnetrón de radiofrecuencia (RF, 13,56 MHz) sobre sustrato de Si (100) a diferentes temperaturas. La composición y estructura de las películas se investigaron mediante espectroscopia fotoelectrónica de rayos X (XPS), TEM y espectros Raman, respectivamente. Se estudió el efecto de la temperatura del sustrato sobre la microestructura y las propiedades mecánicas y tribológicas de las películas. Se observó una transición estructural de las películas desde el contenido en nanopartículas al tipo fullereno. En consecuencia, las propiedades mecánicas de las películas también experimentaron una transición evidente. Los resultados tribológicos en aire ambiente mostraron que la alta temperatura del sustrato (>573 K) era una desventaja para la resistencia al desgaste de las películas, aunque favorecía la formación de grupos de carbono ordenados. En particular, la película depositada a una temperatura de 423 K presentaba un coeficiente de fricción ultrabajo de aproximadamente 0,01 y una elevada resistencia al desgaste.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:películas, películas de carbono amorfo hidrogenado, alta temperatura del sustrato, espectroscopia de fotoelectrones de rayos, efecto de la temperatura del sustrato, coeficiente de fricción ultrabajo, espectros raman, aire ambiente, grupos de carbono, diferentes temperaturas
• Keywords:films, hydrogenated amorphous carbon films, high substrate temperature, ray photoelectron spectroscopy, substrate temperature effect, ultralow friction coefficient, raman spectra, ambient air, carbon clusters, different temperatures