Resumen

Los FET de nanohilos de ZnO se han fabricado aplicando un enfoque descendente, que utiliza fotolitografía óptica, deposición de capas atómicas (ALD) de película fina de ZnO y grabado anisotrópico con plasma. Los efectos de la solución salina tamponada con fosfato (PBS) sobre la superficie de los nanocables de ZnO se investigaron midiendo las características del FET con diferentes diluciones de PBS. La corriente de drenaje, ION, mostró un aumento de 39 veces en la concentración más alta de solución PBS en comparación con la medición en aire. A partir de las características de transferencia y de salida medidas en distintas diluciones de PBS, se observó que el dispositivo mantenía un comportamiento de tipo n. Estos resultados indican que el dispositivo puede utilizarse eficazmente para la detección de biomoléculas.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos Nanomateriales
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes Nanomaterials
• Palabras claves:mayor concentración de solución pbs, solución salina tamponada con fosfato, grabado anisotrópico con plasma, deposición de capa atómica, diferentes diluciones de pbs, varias diluciones de pbs, zno, dispositivo, características fet, nanocable zno
• Keywords:highest pbs solution concentration, phosphate buffered saline, anisotropic plasma etching, atomic layer deposition, different pbs dilutions, various pbs dilutions, zno, device, fet characteristics, zno nanowire