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The Effect of Thermal Annealing Processes on Structural and Photoluminescence of Zinc Oxide Thin FilmEfecto de los procesos de recocido térmico sobre la estructura y la fotoluminiscencia de películas delgadas de óxido de zinc

Resumen

En este estudio se utilizó el pulverizado por radiofrecuencia a temperatura ambiente para preparar una película delgada de óxido de zinc (ZnO). Tras la deposición, la película fina se colocó en un horno de alta temperatura para someterla a un recocido térmico a diferentes temperaturas (300, 400, 500 y 600°C) y durante diferentes tiempos de permanencia (15, 30, 45 y 60 min). El objetivo era explorar los efectos que el proceso descrito tenía sobre la estructura interna y las propiedades de luminiscencia de la película delgada. Una imagen topográfica obtenida con un microscopio electrónico de barrido mostró que el tamaño de los cristales de ZnO crecía al aumentar la temperatura de recocido térmico o el tiempo de permanencia. Sin embargo, existían diferencias significativas en los niveles de influencia causados por el aumento de la temperatura de recocido térmico o del tiempo de permanencia; la temperatura de recocido térmico tenía un mayor efecto sobre el crecimiento de los cristales en comparación con el tiempo de permanencia. Además, las direcciones de cristalización de ZnO (002), (101), (102) y (103) pueden observarse claramente mediante un análisis de difracción de rayos X, y la fuerza de cristalización aumentó con el incremento de la temperatura de recocido térmico. Los espectros de medición de fotoluminiscencia mostraron que la intensidad de emisión ultravioleta (UV) aumentaba con el incremento de la temperatura de recocido térmico y el tiempo de permanencia. Sin embargo, cuando la temperatura de recocido térmico alcanzaba los 600°C o cuando el tiempo de permanencia llegaba a los 60 min, incluso presentaba un débil pico de emisión de luz verde.

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