Resumen

Las bobinas de carbono pudieron sintetizarse utilizando C2H2/H2 como gases fuente y SF6 como gas aditivo incorporado bajo el sistema de deposición química térmica de vapor. Se emplearon sustrato de Si, sustrato de SiO2 depositado en película delgada (sustrato de SiO2) y sustrato de cuarzo para dilucidar el efecto del sustrato en la formación de bobinas de carbono. Se investigaron las características (densidades de formación, morfologías y geometrías) de las bobinas de carbono depositadas sobre el sustrato. En el caso del sustrato de Si, las bobinas de carbono de tamaño microscópico eran dominantes en la superficie del sustrato. En cambio, en el caso del sustrato de SiO2, las bobinas de carbono de tamaño nanométrico predominaban en la superficie del sustrato. Las morfologías superficiales de las muestras se investigaron paso a paso durante el proceso de reacción. La causa de la diferente geometría de formación de las bobinas de carbono según los diferentes sustratos se discutió en asociación con los diferentes valores del coeficiente de expansión térmica de los sustratos de Si y SiO2 y las diferentes características de grabado de los sustratos de Si y SiO2 por flujo de SF6 H2.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes
• Palabras claves:sustrato si, bobinas de carbono, sustrato, superficie del sustrato, diferentes valores del coeficiente de dilatación térmica, sistema de deposición térmica de vapor químico, diferentes características grabadas, formación de geometrías diferentes, gas aditivo incorporado, bobinas de carbono de tamaño microscópico
• Keywords:si substrate, carbon coils, substrate, substrate surface, different thermal expansion coefficient values, thermal chemical vapor deposition system, different etched characteristics, different geometry formation, incorporated additive gas, microsized carbon coils