Se diseñaron y fabricaron células solares basadas en Si con uniones p-n alineadas verticalmente que funcionan a alto voltaje. Los tratamientos con plasma y la deposición del recubrimiento antirreflectante en las superficies de trabajo de las células de una y varias uniones se realizaron utilizando los soportes especiales. Se demostró que el tratamiento adicional de las células solares en plasma de argón antes del tratamiento con plasma de hidrógeno y la deposición de películas antirreflectantes de carbono tipo diamante conducían a la mejora de la eficiencia de la célula hasta en un 60%. Las ondas de radiofrecuencia favorecen la generación de plasma y mejoran la conversión fotoeléctrica debido principalmente a la reducción de las tensiones internas en las interfaces. La aplicación de la técnica de grabado iónico reactivo elimina la capa rota, reduce la tensión elástica en la oblea, disminuye la recombinación de portadores de carga en el grueso y proporciona un aumento de la eficiencia de la célula de hasta diez veces.
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