Resumen

Se han preparado sustratos de zafiro con patrón piramidal plano (FTP-PSS) para el crecimiento de epiláminas de GaN y la fabricación de diodos emisores de luz (LED) de tipo lateral con una longitud de onda de emisión de aproximadamente 470 nm. Se formaron tres tipos de FTP-PSS, denominados FTP-PSS-A, FTP-PSS-B y FTP-PSS-C, respectivamente, mediante procesos secuenciales de grabado húmedo. Los diámetros de las áreas circulares en las regiones superiores de estos tres FTP-PSS eran de 1, 2 y 3 μm, respectivamente. A partir de los resultados de difracción de rayos X, los valores de la anchura máxima a la mitad de las curvas de balanceo en el plano (002) para las epiláminas de GaN cultivadas sobre sustrato de zafiro convencional (CSS), FTP-PSS-A, FTP-PSS-B y FTP-PSS-C fueron de 412, 238, 346 y 357 segundos de arco, mientras que estos valores en el plano (102) fueron de 593, 327, 352 y 372 segundos de arco, respectivamente. Los resultados de la simulación SpeCLED-Ratro revelan que el LED preparado sobre FTP-PSS-A tiene la mayor eficiencia de extracción de luz que los demás dispositivos. Con una corriente de inyección de 350 mA, las potencias de salida de los LED fabricados con CSS, FTP-PSS-A, FTP-PSS-B y FTP-PSS-C fueron de 157, 254, 241 y 233 mW, respectivamente. Los resultados indican que tanto la calidad cristalina de la epilámina de GaN como la extracción de luz del LED pueden mejorarse mediante el uso de FTP-PSS, especialmente en el caso del FTP-PSS-A.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanofibras
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanofibers
• Palabras claves:ftp, pss, psss, epiláminas gan, mayor eficacia de extracción de luz, resultados de simulación ratro, sustrato de zafiro convencional, resultados de difracción de rayos, css, led
• Keywords:ftp, pss, psss, gan epilayers, highest light extraction efficiency, ratro simulation results, conventional sapphire substrate, ray diffraction results, css, led